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離子滲氮的工藝參數(shù)較多，除了常見的滲氮溫度和時(shí)間外，還與爐氣壓力、氣源、氣體壓力及流量、電壓與電流、抽氣速率等要素有關(guān)。

　　滲氮溫度和時(shí)間

　　1)離子滲氮的滲氮溫度和氣體滲氮基本相同，一般為500~540℃，不同材料滲氮硬度與溫度之間均有一Z佳對應(yīng)值，一般在450~540℃之間。當(dāng)溫度高于590℃時(shí)，會因氮化物的積聚而使硬度明顯下降。

　　升溫速度S要取決于工件外表的電流密度、工件體積與發(fā)生輝光的外表積之比以及工件的雜亂程度與散熱條件等。為削減變形，升溫速度不宜過快，一般為150~250℃/h。保溫溫度要安穩(wěn)，波動(dòng)要小。

　　保溫溫度的安穩(wěn)性與爐壓及電壓有密切的關(guān)系，經(jīng)過安穩(wěn)爐壓來安穩(wěn)電流密度，從而進(jìn)步保溫溫度的安穩(wěn)性;經(jīng)過安穩(wěn)電壓來安穩(wěn)電流密度，從而進(jìn)步保溫溫度的安穩(wěn)性。

　　2)滲氮的保溫時(shí)間取決于滲氮件的材料以及滲氮層的厚度和硬度要求，保溫時(shí)間從幾十分鐘到幾十小時(shí)。當(dāng)滲氮時(shí)間在20h以內(nèi)時(shí)，離子滲氮的速度明顯大于氣體滲氮，當(dāng)滲氮時(shí)間在20h以上時(shí)，兩種滲氮的速度挨近。

　　可見，在處理滲氮層小于0.5mm的工件時(shí)，用離子滲氮是Z合適的。當(dāng)滲氮層深度為0.2~0.5mm時(shí)，一般保溫8～20h即可。

　　爐氣壓力

　　爐氣壓力是離子滲氮的一個(gè)重要參數(shù)。空爐或工件裝爐后，氣壓應(yīng)能達(dá)到6.67Pa以下。如果達(dá)不到此值，說明爐體有漏氣現(xiàn)象，漏入的空氣中的氧在滲氮過程中會使金屬外表氧化，影響滲氮質(zhì)量;冷卻時(shí)漏入空氣，會使工件呈現(xiàn)氧化色。

　　爐氣壓力與供氣流量和抽氣速率有關(guān)。在氣壓必定的條件下，真空泵的抽氣速率越大，氣體的流量就越大，氨氣的消耗量也就越大。

　　在離子滲氮中，氣壓直接影響電流密度的巨細(xì)。氣壓大，電流密度大，而電流密度又影響升溫速度和保溫溫度。在實(shí)際操作中，氣壓應(yīng)在133～1066Pa之間，一般為266~800Pa。

　　爐氣壓力對滲氮層的安排有必定影響。高氣壓下化合物層中ε相含量增高，低氣壓易獲得γ′相。氣壓在40~2660Pa時(shí)，不易呈現(xiàn)化合物層。

　　氣壓還決議輝光層的厚度，氣壓越大，dk越小，輝光層越薄，越有利于升溫。

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